HISOMET은 측정 지점의 표면을 관찰하면서 비접촉 방식으로 고정밀 높이·깊이 측정을 간단한 조작만으로 수행할 수 있는 장비입니다.

HISOMET-II는 광학식 초점 검출 방식을 기반으로 설계된 비접촉식 깊이 측정 현미경으로,
정밀 초점 인디케이터를 적용하여 표시자(Target Mark)를 일치시키는 것만으로
높이·깊이·단차(step) 등을 측정할 수 있습니다.

비접촉 방식이므로 시편에 변형, 충격, 손상(스크래치 및 흠집)이 발생할 우려가 없어,
IC 전자부품이나 정밀 가공 부품과 같이 섬세한 대상 측정에 최적화된 장비입니다.

비접촉식 광학 방식으로 초점을 검출하므로, 시편에 접촉으로 인한 변형·충격·흠집 등의 손상 없이 측정이 가능합니다. (Diagram-① 참조)

정밀한 Split-Target 방식의 초점 인디케이터를 채택하여,
눈금(Index Graticule)의 두 반쪽을 일치시키는 것만으로도 고정도 깊이 측정이 가능합니다.
(Diagram-② · Diagram-③ 참조)

조작이 매우 단순하여 다양한 용도에 적합한 측정용 현미경 시스템입니다.

또한 측정 지점의 미세한 표면 상태를 관찰하면서 기준점과 측정 위치 간의 상대 위치를 같은 시야(Field of View) 내에서 확인 및 측정할 수 있습니다.
고배율 대물렌즈 사용 시 측정 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있습니다. (Diagram-② 참조)

시편 표면 조건에 따라 Black-stripe 또는 White-stripe Target Mark를 선택할 수 있으며,
레버 조작만으로 3가지 상태(블랙·화이트·무표시) 전환이 가능하여 촬영 시에도 편리합니다.

또한 관찰 헤드, 측정 스테이지, 옵션 장비 조합을 통해 다양한 모델 구성이 가능하므로
사용자 응용 분야에 맞게 시스템을 구성할 수 있습니다. (System Diagram 참조)

레이저 방식의 경우 투명체·거울 또는 펄스킨(Pearskin) 같은 확산 반사 표면에서 난반사에 따른 포커스 오차가 발생하기 쉽지만,
본 광학 방식은 Target Mark를 직접 표면에 투영하여 이러한 표면에서도 단차(step) 및 높이 측정이 가능합니다.

Hisomet-II 제품 카다로그