더블 뷰 현미경
(직경 4인치 및 6인치 웨이퍼 적용 가능)

DCM-40/60은 시편(웨이퍼)의 상부와 하부 패턴을 현미경 시야 내에서 중첩하여 표시한 후,
그 어긋남(Shift)을 비교 분석하여 이동 거리(Shift Length)를 측정하는 독자적인 현미경 시스템입니다.

상·하부에 장착되는 대물렌즈는 총 배율 50배부터 1,000배까지 총 5종류로 구성되어 있어,
다양한 종류의 시편을 조건에 맞게 관찰할 수 있습니다.