경제적이며 컴팩트한 설계, 동시에 고성능을 제공합니다.

시야 내에서 두 개의 얼라인 마크를 중첩하여 관찰 가능합니다.

노광용 인테그레이터 렌즈(Integrator Lens)를 탑재하였습니다.

LED 조명(LED Illuminator) 사용하였습니다.

APPLICATION (응용 분야)

(마이크로머신 개발, 연구소 및 대학 연구용)

- 액추에이터(Actuator), 압력 센서, 가속도 센서, 파워 디바이스 등

- Flip Chip / BGA / CSP 공정 노광

- 광학 부품 및 고속 통신 부품 노광

Alignment Scope 사양

- 대물렌즈 간격(Objectives separation): 15 ~ 75 mm

- 총 배율(Total magnification): 100배

- 관찰용 조명(Illuminator for observation): 그린 LED (λ = 540 nm)

- 스테이지 X, Y 이동 범위: ±5 mm

- θ(회전) 조정 범위: ±5°

Utility

- 본체 및 수은램프 전원: AC 100V, 50/60Hz, 15A

- 진공원(Vacuum source): 21.3 kPa 이하
(대기압 대비 -80 kPa)

- 압력원(Pressure source): 0.2 MPa 이상
(질소가스(N₂) 또는 건조한 청정 공기)

Exposure Unit (노광 유닛)

-렌즈(Lens): 인테그레이터 렌즈(Integrator Lens)

-수은 램프(Mercury lamp): 250W 초고압 수은램프

-유효 노광 영역(Effective exposure area): 최대 Ø100 mm

-조도 분포(Intensity distribution): ±5% 이하

-조명 강도(Intensity of illumination):20 mW/cm² (405 nm)

-노광 시간 제어(Exposure time control):디지털 타이머 및 로터리 솔레노이드

-수은램프 점등 유닛(Mercury Lamp Lighting Unit): AC 100V

EMA-400 제품 카다로그